雷尼紹光柵如何助力提升空氣軸承運動平臺精度
發布時間：2023-02-27 17:26瀏覽次數：
大家經常會在市場上看到精密設備標榜采用空氣軸承。那么，到底什么是空氣軸承呢？簡單來說，空氣軸承是一種使用空氣（或其他氣體）作為潤滑劑，將空氣氣膜用作非接觸式支承的一種滑動軸承。在半導體、面板、精加工等眾多高端產業制程設備的運動平臺上，經常能看到空氣軸承的身影。平臺上的滑座就像“坐”在氣膜上，以懸浮的方式在平臺上移動。這些平臺為了優化整體性能，一般都會配置直線電機和光柵系統。
挑戰：空氣軸承運動平臺的性能通常受環境、基材精度及電控組件的影響，而光柵是其中的關鍵因素之一。廠家往往需要尋找規格合適的光柵，以滿足不同應用要求。
解決方案：Renishaw系統為不同精度要求的運動平臺，提供精準位置反饋方案。
中國臺灣省東佑達納米系統股份有限公司（以下簡稱“東佑達”）開發的空氣軸承運動平臺，采用共面式專利機構設計，以雷尼紹高精度光柵作為位置反饋系統。東佑達在確保成本效益最大化的前提下，為業界提供微米級和納米級的運動平臺解決方案。
雷尼紹的光柵產品種類繁多，無論是RESOLUTETM絕對式光柵，還是QUANTiCTM、VIONiCTM、ATOMTM等增量式光柵，都在東佑達不同規格的空氣軸承運動平臺上發揮著重要作用。
市場上的空氣軸承大致可以分為兩類：動壓空氣軸承和靜壓空氣軸承。一般應用在運動平臺上的大多屬于靜壓空氣軸承。其工作原理是，從外部注入壓縮空氣（或其他氣體，如氮、氬、氫、氦或二氧化碳）；壓縮空氣從供氣孔通過節流器導入滑座底部和運動平臺花崗巖底座表面之間的間隙；在間隙內形成支承負載的靜壓氣膜，將滑座升起，懸浮在軸本體（導軌）上，以懸浮方式移動。氣膜厚度（工作氣隙）取決于平臺設計和運動副表面的加工精度，一般在5-10 μm之間。
節流器是一個十分關鍵的組件。當負載增加時，氣膜就會被壓縮，從而影響剛性，這時節流器會根據負載的變化控制壓縮空氣進入間隙的流量和流速，以維持氣膜厚度（剛性）的一致性?？諝廨S承的承載能力、規格、性能與其采用的節流器技術密切相關。各廠商都會自主開發節流器技術來優化性能。
東佑達副總經理鄧貴敦先生說：“有別于業界一般將空氣軸承運動平臺的節流器組件設計在外部，東佑達所設計的節流器組件直接嵌入花崗巖機構式內部，結構簡單、組裝容易、剛性高且承載能力強。”
目前，東佑達的空氣軸承運動平臺（比如XY平臺）的重復精度可達0.3 μm（每300 mm行程），提供超高的6個自由度精度。XY平臺采用共面式結構設計，共享同一基準面，解決了線性X軸和Y軸在平面、正交垂直面上采用上下堆棧設計時，容易累積誤差的問題。
此外，某些平臺型號的加速度高達10 G，足以滿足大多數高端應用要求，包括半導體、顯示面板、PCB、激光曝光機等制程設備以及AOI自動光學檢測設備等，其中以AOI應用所占的比例最大。由于AOI需要對被測對象進行掃描成像，因此在運動控制層面上需要非常穩定的速度紋波。
下一篇：沒有了
- 2023-02-27
雷尼紹光柵如何助力提升空氣軸承運動平 - 2023-02-27
Micro LED加快市場化，德龍激光等設備廠商 - 2023-02-27
鄰社信息-山東LED顯示屏廠商相繼布局， - 2023-02-27
Micro LED導入蘋果Apple Watch或面臨高成本的 - 2023-02-27
美亞迪光電科技產業園項目預計明年3月完 - 2023-02-27
連拋4大動態、合計投資近49億，精測電子 - 2023-02-27
晶能光電通過國家企業技術中心認定，創 - 2023-02-27
JBD紅光Micro LED亮度突破75萬尼特 - 2023-02-27
蘋果2024款iPad Pro將采用三星和LGD的OLED面板 - 2023-02-27
Lumens收購Soft-Epi，強化Micro LED電子顯示屏